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半导体工艺中干式真空泵的种类

2019-12-22

半导体工艺中干式真空泵的种类

油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,更主要的特点是真空度高,能满足新型行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移,社会的进步,它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等,因此,干式真空泵应运而生。

在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式,爪式,组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今,这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中,圆裂片式,爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。

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01-28

矿井空压机电力设计有哪些要求?矿井空压机电力设计要求

矿井空压机是应用比较多的一种压缩机类型,在使用矿井空压机时,应谨慎注意压缩机的电力,因此对压缩机的电力设计要求十分严格,针对这些设计规定,武汉空压机生产商给出了具体的介绍,下面为大家详细解说,希望...

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05-03

空压机冷干机常见故障

一、冷干机排气温度过高是什么原因? 1、压缩空气进气温度过高或流量太大 2、制冷系统工况发生变化,引起冷媒蒸发温度升高,使压缩空气在蒸发器里得不到足够冷却。 3、预冷器管道外壁散热量太大 二、冷干机排气温度...

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05-28

螺杆式空压机油路和水路系统的重要性

油对空压机来说,那是相当重要的。如果缺少了油,那空压机该如何运行呢?当然要排除无油空压机,这类空压机是特殊。毕竟在设计师设计时,就是按照不需要油来工作的。 油路积碳是螺杆式空压机常见的状态,如果平时...

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07-19

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09-16

空压机油气分离器为什么会频繁堵塞?

空压机油气分离器为什么会频繁堵塞?在企业生产中,空压机油气分离器常出现频繁堵塞的故障,该故障的解决方法: 1、空气过滤器损坏或不适合使用环境:更换损坏的空气过滤器芯,如果因不适合使用环境,可选用重型...

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12-08

空压机维修问题有哪些?螺杆式空气压缩机的维修事项

空压机维修问题有哪些?武汉螺杆空压机小编为您介绍关于螺杆式空气压缩机的维修事项: 1、空压机维修应该及时更换润滑油 润滑油在喷油螺杆压缩机中主要起三个方面的作用:一是起润滑作用,润滑轴承、增速齿轮及螺杆...

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05-11

武汉空压机分析空压机排气量的具体定义

武汉空压机分析空压机排气量的具体定义,由于实际要求与换算方式的不同,压缩机的排气量有实际容积流量与标准容积流量两种。 (1)实际容积流量 实际容积流量是指经过压缩机压缩并在标准排气位置排出气体的容积流...

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04-25

螺杆式空压机电机为什么不停转?

螺杆式空压机电机为什么不停转?螺杆机有分加载跟卸载。加载就是俗称的打气阶段。而卸载即空转是为了让机油有个降温的过程。如果卸载过久,也是会空车过久停机的,属于正常现象。

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09-11

空压机的分类有哪些?

武汉空压机的种类很多,具体的分类情况如下: 1、按工作原理可分为三大类:容积型、动力型(速度型或透平型)、热力型压缩机。 2、按润滑方式可分为无油空压机和机油润滑空压机。 3、按性能可分为:低噪音、可变频...

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07-16

武汉永磁变频空压机专家告诉你为什么永磁变频空压机将成为未来发展趋势?

  永磁变频空压机在工业上得到大量的运用,也不禁让人们想起了工频驱动的空压机。   纵观市场,工频空压机已逐渐退出人们的眼球,取而代之的是永磁变频螺杆空压机,那么二者到底有什么区别呢,为什么永磁变频...

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07-21

活塞空压机轴承的作用有哪些?

武汉空压机的种类有很多,活塞空压机的轴承主要是装在曲轴上,他的作用是支撑真曲轴平衡的运转,一旦轴承损坏了,轻一点的就是产生异响,连杆磨损。严重就直接卡死,那空压机就要大修了。这个曲轴上的轴承一般到...

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10-04

目前国内空压机油有哪些品种规格标准是什么

目前国内已标准化的往复式空压机油品种有L-DAA、L-DAB两种,规格标准为GB12691-90,粘度等级均分32、46、68、100、150五个牌号。 回转式空压机油已标准化的有L-DAG轻负荷喷油回转式空压机油,规格标准为GB590...

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01-03

干燥机的构造和特性及其使用标准

随着科技的不断进展,干燥机逐渐走进我们的生活中,也慢慢被越来越多的人开始熟知,了解它的人都知道,其设备总共是可以分为两类的,在当前社会算是较为普遍的了,那么对于它的作用您了解多少呢?下面我们就干燥...

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12-04

空压机冷冻式干燥机的工作原理是什么?

空压机冷冻式干燥机的工作原理是什么?冷冻式干燥机由热交换系统、制冷系统及电气控制系统三部分姐成。压缩空气首入预冷却器进行气-气或气一水热交换,除去一部分热能,然后进入热交换器,与经过蒸发器被冷却到压...

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12-28

水环真空机组开停泵的过程

如果说水环真空机组的操作方法是决定使用效果的重要前提,那么设备的启动和停止就是能否使设备正常操作的基础。启动和停止的细节过程是不能忽视的: 水环真空泵机组有电机直连、联轴器或及皮带轮的连接方式,启动...

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07-30

武汉空压机开机前应该调试哪些参数?

螺杆空压机使用一段时间后,亦或长时间停机,或者初次运行,都需要调试。如何调试与主要调试哪些部分,也是我们空压机使用者需要了解的地方。 皮带(联轴器)校正 如空压机是采用皮带传动,则皮带的松紧度应为10~...

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05-04

武汉空压机总结单螺杆式空压机使用技巧

如何使单螺杆式空压机长期安全地运行呢?除了深入了解其工作原理,及时处理机械故障外,还需要认真做好维护保养工作,使空压机保持完好的状态。下面武汉空压机总结单螺杆式空压机使用技巧。 一、新机尚处于磨合期...

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05-10

空压机主要被应用在哪些领域?

空压机的应用领域相当的广泛,尤其是双螺杆式的空气压缩机被广泛应用机械,冶金,电子电力,医药,包装,化工,食品,采矿,纺织,交通等众多工业领域,成为压缩空气的主流产品空压机,就是把一个标准大气压的空...

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04-03

空压机过滤器过滤效果差是什么原因

很多用户在使用空压机过程中,发现空压机过滤器过滤效果差,但不知道是什么原因导致的,下面武汉螺杆空压机为大家总结下空压机过滤器过滤效果差的原因有以下几点: 1、对进气未经预处理,增设前置过滤器; 2、滤...

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06-04

武汉螺杆空压机介绍空压机主要零部件的功能与作用

空压机主要零部件有精密过滤器、温控阀、油过滤器、油气分离器、空气过滤器、减荷阀、小压力阀等等,下面武汉螺杆空压机就来简单的介绍下空压机主要零部件的功能与作用,希望对大家有帮助。 1、精密过滤器: 精密...

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