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半导体工艺中干式真空泵的种类
油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,更主要的特点是真空度高,能满足新型行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移,社会的进步,它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等,因此,干式真空泵应运而生。
在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式,爪式,组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今,这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中,圆裂片式,爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。
05-01
武汉江汉区东方空压机经营部怎么样?武汉市江汉区东方空压机经营部成立于2005年09月23日,注册地位于武汉市江汉区民主街49号,法人代表为项斌。经营范围包括各种空压机及配套产品、劳保用品、五金工具批零兼营
08-31
空气压缩机节能措施有哪些呢?武汉空压机维修厂家总结如下: 1、电力系统的限制,首先必须考虑的是应用电压,低电压系统(380~460V)就不太适合使用450kW及以上的空压机。其次,必须考虑大型空压机在启动时电网...
04-21
武汉新洲区巨松空压机服务部怎么样?武汉市新洲区巨松空压机服务部成立于2017年09月22日,注册地位于武汉市新洲区阳逻经济开发区楚桥工业园第4号厂房[幢]/单元1-3层4-1号厂房,法人代表为王槐松。经营范围包括空...
01-07
压缩空气中的油污杂质有以下几种存在形式:固态焦油渣、液态油滴、气溶胶油雾及油蒸汽,相应的除油方法也各不相同。 1、惯性除油 利用空气中油污粒子与空气之间存在的密度差异,在运动过程中通过惯性、重力等作用...
05-15
26日,武汉市“春风行动”在首义广场正式开启,由纳杰人才承办的现场招聘会,630余家单位提供岗位25760个,5600多人进场求职登记,其中3636人达成初步意向。今年28岁从深圳返乡的务工人员陈振强在招聘会展台查看企...
08-02
空压机的维护保养质量是空压机使用的前提和基础,空压机在长期的使用过程中,机械的零部件磨损、间隙增大、配合改变,空压机应有的静平衡和动平衡被破坏,工作稳定性、可靠性和机械的工作效率都显著下降,甚至会...
08-03
武汉空压机维修公司介绍节能空压机改造的优点 空压机节能改造优点:采用PLC内部PID整定通过DA模块控制变频器调速,实现了自动恒压供气,使用方便,准确度高,响应速度快,系统压力恒定,控制效果良好。另外实现了...
05-26
螺杆空压机油成分分为空压机油成分润滑油基础油和空压机油成分添加剂2个部分,下面武汉空压机为大家介绍螺杆空压机油成分,以便大家更好的了解。 1、空压机油成分润滑油基础油: 润滑油基础油主要分矿物基础油及...
05-04
如何使单螺杆式空压机长期安全地运行呢?除了深入了解其工作原理,及时处理机械故障外,还需要认真做好维护保养工作,使空压机保持完好的状态。下面武汉空压机总结单螺杆式空压机使用技巧。 一、新机尚处于磨合期...
05-04
空压机工作原理知识: 1、吸气过程: 螺杆式的进气侧吸气口,必须设计得使压缩室可以充分吸气,而螺杆式压缩机并无进气与排气阀组,进气只靠一调节阀的开启、关闭调节,当转子转动时,主副转子的齿沟空间在转至进...
09-24
我们常说防微杜渐,中医上也讲究防胜于治。由此及彼,推而广之——相对空压机而言,维护的意义可比维修的意义大多了。 为什么我们业内人士会这么说?预防维修有两种具体模式,一是定期预防维修,就是按照空...
12-18
空压机在工作过程中,输入电能的80%左右会变成热量,剩下的20%终会变成压缩空气能。从理论上讲,除了2%的辐射热量不能回收以外,几乎98%的热量都会被回收利用。为了更好的提高热量的利用率,市场上出现了空压机余...
11-13
08-26
空压机是空气压缩机的简称,是将原动机(通常是电动机)的机械能转换成气体压力能的装置,是压缩空气的气压发生装置。我们日常生活和生产中运用很广泛。空压机选购不仅仅是品牌的问题,还要考虑安装和维修事宜。 ...
04-22
空压机马达超载及排气温度的保护 1.马达超载保护空压机系统内有两个主要马达,一个为空压机驱动主马达,二为冷却循环风扇马达。主马达在一般正常情况下,其运转电流不应超过微电脑控制器的设定值,例如...
03-01
粉尘对空压机有哪些危害?下面武汉空压机小编总结分享粉尘对空压机的危害如下: 1.一般空压机安装有高精度空气过滤器,空气中粉尘太多自然加重了,过滤器的负担,大大缩短了过滤器的使用寿命。 2.而危害更大的是...
03-11
螺杆空压机在正常运转时突然出现设备停止怎么回事?停机有几个简单原因: 1、高温停机, 2、空车过久停机, 3、其他原因, 具体看看运行参数里面的故障指示。
07-18
空压机节能,是现在空压机推广的主要手段,也是企业提高产品竞争,降低成本的重要手段。空压机的节能,可以从多个方面来进行。不仅是单纯的买一台艾高节能空压机,你还可以从储气罐和管道,这两方面进行节能。 节...
05-17
武汉哪家做空压机保养比较便宜?武汉做空压机维修保养也挺多的,新机子建议5年内的就找厂家相关售后服务中心,就买买配件,大保养时过来一趟,故障率低,年久了还是找替代商吧。 不过现在的武汉空压机维修保养商...
10-06
空压机运用到的场合都有以下特点:配置的容量一般都比实际用量要大;用气量消耗不稳定;要求气压要稳定;将噪音尽可能的降到低,尤其是夜晚,勿打扰市民休息。下面武汉空压机小编总结空压机采用了变频之后会带来...