如何选择的干式真空泵？

如何选择的干式真空泵？

干式真空泵是未来行业发展的趋势，虽然现在用的还不多，除了价格高原因外，还有用户对干式真空泵的了解不到位，看不到带给企业的未来经济效益，本文着重讲下干式真空泵怎么进行优化选择？对于这些不同类型的干式真空泵，我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾，因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然，还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素，那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高它的转速。而想要改变真空泵的转速有两种方法，一是改变电源的频率，即采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。其中，采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制，但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法，当然，它只能提供不可控的单一转速。

现在，可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来，使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。

由于螺杆式设计为单级设计，同多级泵如圆裂片式，爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

综合考虑，如果用户认为耗电量对他来说更为重要而氮气用量对他来说更不重要，那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来，对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺，而使得你的库存控制简单化，那么外部压缩型螺杆式是你更好的选择。

根据具体情形，综合以上所有设计类型的优点一定是更理想的选择，但目前还不太可能。因此，这就要求使用者首先要知道在干式泵的设计上有着如此多的不同设计类型，进而根据自身工艺特点了解各种不同类型泵的设计对其影响。这样做出的选择才能够尽可能降低其使用成本，而获得一个寿命较长的稳定的真空系统。

今天，我们已进入干式真空泵时代，同过去旋片和活塞油式真空泵时代相比，一个受过良好培训的消费者在真空泵的选择上起着举足轻重的作用。要知道，有如此多类型的干式泵可供选择，而选一个更能和您的半导体工艺相匹配的类型是关键所在。